シリコンCVDプロセスおよびナノクラスター形成に関する化学反応機構の解明

• Material Type: 図書
• Title: シリコンCVDプロセスおよびナノクラスター形成に関する化学反応機構の解明
• Title Transcription: シリコン CVD プロセス オヨビ ナノクラスター ケイセイ ニ カンスル カガク ハンノウ キコウ ノ カイメイ
• Author/Editor: 松為, 宏幸, 東京大学
• Author Heading: 松為, 宏幸 マツイ, ヒロユキ
• Publication Date: 1993-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(A)
• Subject Heading: シラン シラン; ジシラン ジシラン; 多光子イオン化 タコウシイオンカ; 時間分解質量分析 ジカンブンカイシツリヨウブンセキ; シリルラジカル シリルラジカル; ジシレン ジシレン; レーザ光分解 レーザコウブンカイ; 二量化 ニリヨウカ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05403020
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05403020
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006990372; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990372
• Bibliographic Record Category (NDL): 214