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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- サイコウセイ ヒョウメン オヨビ キンゾク キュウチャク ヒョウメン ノ ナイブ オウリョク ノ トウカ デンシ ケンビキョウホウ ニ ヨル ケンキュウ
- Author/Editor
- 八木, 克道, 東京工業大学
- Author Heading
- 八木, 克道 ヤギ, カツミチ
- Publication Date
- 1994-1995
- Publication Date (W3CDTF)
- 1994
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 表面歪 ヒヨウメンヒズミ表面内部応力 ヒヨウメンナイブオウリヨクSi (001) 2 1 SI (001) 21透過電顕法 トウカデンケンホウ反対電顕法 ハンタイデンケンホウ