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レーザー誘起原子放出を用いた表面微量欠陥の定量法の確立

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レーザー誘起原子放出を用いた表面微量欠陥の定量法の確立

Call No. (NDL)
Y151-H05452096
Bibliographic ID of National Diet Library
000006990684
Material type
図書
Author
中井, 靖男, 大同工業大学
Publisher
-
Publication date
1993-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
レーザー ユウキ ゲンシ ホウシュツ オ モチイタ ヒョウメン ビリョウ ケッカン ノ テイリョウホウ ノ カクリツ
Author/Editor
中井, 靖男, 大同工業大学
Author Heading
中井, 靖男 ナカイ, ヤスオ
Publication Date
1993-1995
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
半導体表面 ハンドウタイヒヨウメン
表面欠陥 ヒヨウメンケツカン
原子放出 ゲンシホウシユツ
レーザー・固体表面相互作用 レーザー・コタイヒヨウメンソウゴサヨウ