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極微小電子線プローブを用いた"埋もれた"金属/半導体界面の構造と物性の研究

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極微小電子線プローブを用いた"埋もれた"金属/半導体界面の構造と物性の研究

Call No. (NDL)
Y151-H05452102
Bibliographic ID of National Diet Library
000006990689
Material type
図書
Author
田中, 信夫, 名古屋大学
Publisher
-
Publication date
1993-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゴク ビショウ デンシセン プローブ オ モチイタ " ウズモレタ " キンゾク/ハンドウタイ カイメン ノ コウゾウ ト ブッセイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
田中, 信夫, 名古屋大学
Author Heading
田中, 信夫 タナカ, ノブオ
Publication Date
1993-1994
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
極微小電子線プローブ キヨクビシヨウデンシセンプローブ
半導体/金属界面 ハンドウタイ/キンゾクカイメン
ナノ回折 ナノカイセツ
ナノEELS ナノEELS
ナノプローブ電子物性 ナノプローブデンシブツセイ