次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御

• Material Type: 図書
• Title: 次世代ドライエツチ用,狭ギヤツプVHFエツチヤの物理とプロセス最適制御
• Title Transcription: ジセダイ ドライエツチヨウ,キョウギヤツプ VHF エツチヤ ノ ブツリ ト プロセス サイテキ セイギョ
• Author/Editor: 真壁, 利明, 慶応義塾大学
• Author Heading: 真壁, 利明, 1947- マカベ, トシアキ, 1947- ( 00162951 )Authorities
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: ドライエツチング ドライエツチング; プラズマプロセス プラズマプロセス; 狭ギヤツプ・RIE キヨウギヤツプ・RIE; VHPプラズマ VHPプラズマ; 非平衡プラズマ ヒヘイコウプラズマ; モデリング モデリング; 微粒子成長 ビリユウシセイチヨウ; rfプラズマ RFプラズマ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452106
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05452106
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006990692; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990692
• Bibliographic Record Category (NDL): 214