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微小球圧子押し込みによる脆性薄膜の破壊強度評価法の研究

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微小球圧子押し込みによる脆性薄膜の破壊強度評価法の研究

Call No. (NDL)
Y151-H05452123
Bibliographic ID of National Diet Library
000006990705
Material type
図書
Author
高松, 徹, 電気通信大学
Publisher
-
Publication date
1993-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ビショウキュウアツコ オシコミ ニ ヨル ゼイセイ ハクマク ノ ハカイ キョウド ヒョウカホウ ノ ケンキュウ
Author/Editor
高松, 徹, 電気通信大学
Author Heading
高松, 徹 タカマツ, トオル
Publication Date
1993-1995
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
薄膜 ハクマク
微小球圧子 ビシヨウキユウアツシ
押し込み オシコミ
破壊強度 ハカイキヨウド