フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: フレキシブルマイクロマシニングにおけるナノインプロセス計測に関する研究
• Title Transcription: フレキシブルマイクロマシニング ニ オケル ナノインプロセス ケイソク ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 三好, 隆志, 大阪大学
• Author Heading: 三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: マイクロマシニング マイクロマシニング; ナノテクノロジー ナノテクノロジー; インプロセス計測 インプロセスケイソク; 光応用計測 ヒカリオウヨウケイソク; 微細形状測定 ビサイケイジヨウソクテイ; 逆散乱位相法 ギヤクサンランイソウホウ; 光学的フーリエ変換 コウガクテキフーリエヘンカン; 指数型光減少フイルタ シスウガタヒカリゲンシヨウフイルタ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05452137
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05452137
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006990717; http://id.ndl.go.jp/bib/000006990717
• Bibliographic Record Category (NDL): 214