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プラズマ電離場中を通過する薄膜物質の分子流体的特性の解明

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プラズマ電離場中を通過する薄膜物質の分子流体的特性の解明

Call No. (NDL)
Y151-H05452151
Bibliographic ID of National Diet Library
000006990730
Material type
図書
Author
加藤, 征三, 三重大学
Publisher
-
Publication date
1993-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
プラズマ デンリジョウ チュウ オ ツウカ スル ハクマク ブッシツ ノ ブンシ リュウタイテキ トクセイ ノ カイメイ
Author/Editor
加藤, 征三, 三重大学
Author Heading
加藤, 征三 カトウ, セイゾウ
Publication Date
1993-1995
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
プラズマ反応 プラズマハンノウ
薄膜プロセス ハクマクプロセス
分子熱流体 ブンシネツリユウタイ
分子軌道法 ブンシキドウホウ
分子動力学 ブンシドウリキガク
DSMC法 DSMCホウ
反応解析 ハンノウカイセキ
エネルギー交換 エネルギーコウカン