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基板回転型CVD装置開発の基礎研究

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基板回転型CVD装置開発の基礎研究

Call No. (NDL)
Y151-H05453094
Bibliographic ID of National Diet Library
000006991039
Material type
図書
Author
荻野, 文丸, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1993-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
キバン カイテンガタ CVD ソウチ カイハツ ノ キソ ケンキュウ
Author/Editor
荻野, 文丸, 京都大学
Author Heading
荻野, 文丸, 1941- オギノ, フミマル, 1941- ( 00117436 )Authorities
Publication Date
1993-1994
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
CVD装置 CVDソウチ
淀み点流れ ヨドミテンナガレ
回転円板流れ カイテンエンバンナガレ
境界層 キヨウカイソウ