ナノ真空マイクロ素子作製システムの開発

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Material Type: 図書
Title: ナノ真空マイクロ素子作製システムの開発
Title Transcription: ナノシンクウマイクロソシサクセイシステムノカイハツ
Author/Editor: 奥山, 文雄, 名古屋工業大学
Author Heading: 奥山, 文雄オクヤマ, フミオ
Publication Date: 1992-1995
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(A)
Subject Heading: 真空マイクロエレクトロニクスシンクウマイクロエレクトロニクス
フイールド・エミツシヨンフイールド・エミツシヨン
スツパタリングスツパタリング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05505001
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05505001
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006991737
http://id.ndl.go.jp/bib/000006991737
Bibliographic Record Category (NDL): 214