超精密加工用インプロセス光センサの開発

• Material Type: 図書
• Title: 超精密加工用インプロセス光センサの開発
• Title Transcription: チョウセイミツ カコウヨウ インプロセス ヒカリ センサ ノ カイハツ
• Author/Editor: 下河辺, 明, 東京工業大学
• Author Heading: 下河辺, 明 シモコウベ, アキラ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 非接触センサ ヒセツシヨクセンサ; レーザダイオード レーザダイオード; 光フアイバカプラ ヒカリフアイバカプラ; セルフオツクレンズ セルフオツクレンズ; ヘテロダイン干渉計 ヘテロダインカンシヨウケイ; 変位測定 ヘンイソクテイ; 表面粗さ測定 ヒヨウメンアラサソクテイ; 絶対距離測定 ゼツタイキヨリソクテイ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555040
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05555040
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006991819; http://id.ndl.go.jp/bib/000006991819
• Bibliographic Record Category (NDL): 214