電気粘性流体を用いた能動形超精密テーブルシステム

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Material Type: 図書
Title: 電気粘性流体を用いた能動形超精密テーブルシステム
Title Transcription: デンキネンセイリュウタイオモチイタノウドウケイチョウセイミツテーブルシステム
Author/Editor: 伊東, 誼, 東京工業大学
Author Heading: 伊東, 誼イトウ, ヨシミ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 電気粘性流体デンキネンセイリユウタイ
テーブルシステムテーブルシステム
超精密加工チヨウセイミツカコウ
運動精度ウンドウセイド
液晶エキシヨウ
構造設計コウゾウセツケイ
特性制御トクセイセイギヨ
工作機械コウサクキカイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555041
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05555041
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006991820
http://id.ndl.go.jp/bib/000006991820
Bibliographic Record Category (NDL): 214