赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発

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Material Type: 図書
Title: 赤外反射分光法による半導体結晶表面の原子制御計測の開発
Title Transcription: セキガイハンシャブンコウホウニヨルハンドウタイケッショウヒョウメンノゲンシセイギョケイソクノカイハツ
Author/Editor: 庭野, 道夫, 東北大学
Author Heading: 庭野, 道夫ニワノ, ミチオ
Publication Date: 1993-1995
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 赤外反射分光セキガイハンシヤブンコウ
半導体表面ハンドウタイヒヨウメン
原子制御計測ゲンシセイギヨケイソク
多重内部反射タジユウナイブハンシヤ
その場観察ソノバカンサツ
固液界面コエキカイメン
半導体プロセスハンドウタイプロセス
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555109
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05555109
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006991883
http://id.ndl.go.jp/bib/000006991883
Bibliographic Record Category (NDL): 214