DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質

• Material Type: 図書
• Title: DCアーク、RF、マグネトロンプラズマを利用した機能性材料の製造および表面改質
• Title Transcription: DC アーク 、 RF 、 マグネトロンプラズマ オ リヨウ シタ キノウセイ ザイリョウ ノ セイゾウ オヨビ ヒョウメン カイシツ
• Author/Editor: 冨井, 洋一, 京都大学
• Author Heading: 冨井, 洋一 トミイ, ヨウイチ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: プラズマジエト プラズマジエト; CVD CVD; ダイヤモンド ダイヤモンド; 異種金属接合 イシユキンゾクセツゴウ; プラズマ窒化 プラズマチツカ; パーコレーシヨン パーコレーシヨン; 超伝導物質 チヨウデンドウブツシツ; 超音波はんだ チヨウオンパハンダ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555189
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05555189
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006991952; http://id.ndl.go.jp/bib/000006991952
• Bibliographic Record Category (NDL): 214