軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成

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Material Type: 図書
Title: 軟X線分光法の新しい応用による超微細コンタクト形成
Title Transcription: ナン Xセンブンコウホウノアタラシイオウヨウニヨルチョウビサイコンタクトケイセイ
Author/Editor: 岩見, 基弘, 岡山大学
Author Heading: 岩見, 基弘, 1939-2019 イワミ, モトヒロ, 1939-2019 ( 00178115 )Authorities
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 超微細コンタクトチヨウビサイコンタクト
遷移金属シリサイドセンイキンゾクシリサイド
軟X線分光法ナンXセンブンコウホウ
非破壊分析法ヒハカイブンセキホウ
SXES-IAV SXES-IAV
SXES-IEV SXES-IEV
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05555191
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05555191
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006991954
http://id.ndl.go.jp/bib/000006991954
Bibliographic Record Category (NDL): 214