グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究

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Material Type: 図書
Title: グローモードプラズマ源を用いた放電洗浄法の研究
Title Transcription: グローモードプラズマゲンオモチイタホウデンセンジョウホウノケンキュウ
Author/Editor: 河辺, 隆也, 筑波大学
Author Heading: 河辺, 隆也カワベ, タカヤ
Publication Date: 1993-1994
Publication Date (W3CDTF): 1993
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 超高真空チヨウコウシンクウ
放電洗浄ホウデンセンジヨウ
不純物フジユンブツ
脱離ダツリ
放電圧力ホウデンアツリヨク
スパツタリングスパツタリング
トラツピングトラツピング
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05558054
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H05558054
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006992257
http://id.ndl.go.jp/bib/000006992257
Bibliographic Record Category (NDL): 214