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図書

セルフセンシング磁気軸受を利用した磁気浮上リニア搬送装置の開発

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セルフセンシング磁気軸受を利用した磁気浮上リニア搬送装置の開発

Call No. (NDL)
Y151-H05650224
Bibliographic ID of National Diet Library
000006992908
Material type
図書
Author
水野, 毅, 埼玉大学
Publisher
-
Publication date
1993-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
セルフセンシング ジキ ジクウケ オ リヨウ シタ ジキ フジョウ リニア ハンソウ ソウチ ノ カイハツ
Author/Editor
水野, 毅, 埼玉大学
Author Heading
水野, 毅 ミズノ, タケシ
Publication Date
1993-1994
Publication Date (W3CDTF)
1993
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
磁気軸受 ジキジクウケ
磁気浮上 ジキフジヨウ
搬送装置 ハンソウソウチ
センサレス磁気浮上 センサレスジキフジヨウ
クリーンルーム クリーンルーム