プラズマエツチングとプラズマ重合の同時制御による金属-高分子組成傾斜膜の試作

• Material Type: 図書
• Title: プラズマエツチングとプラズマ重合の同時制御による金属-高分子組成傾斜膜の試作
• Title Transcription: プラズマエツチング ト プラズマ ジュウゴウ ノ ドウジ セイギョ ニ ヨル キンゾク-コウブンシ ソセイ ケイシャマク ノ シサク
• Author/Editor: 原口, 俊秀, 北九州工業高等専門学校
• Author Heading: 原口, 俊秀 ハラグチ, トシヒデ
• Publication Date: 1993-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: プラズマエツチング プラズマエツチング; スパツタ スパツタ; プラズマ重合 プラズマジユウゴウ; 組成傾斜膜 ソセイケイシヤマク; ステンレス鋼 ステンレスコウ; 表面処理 ヒヨウメンシヨリ; ESCA分析 ESCAブンセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 05650661
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H05650661
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006993082; http://id.ndl.go.jp/bib/000006993082
• Bibliographic Record Category (NDL): 214