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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ユウキ キンゾク ゲンリョウ オ モチイル ゲンシソウ エピタキシー ノ マイクロバランス ニ ヨル ソノ バ カンサツ
- Author/Editor
- 纐纈, 明伯, 東京農工大学
- Author Heading
- 纐纈, 明伯 コウキツ, アキノリ
- Publication Date
- 1994-1995
- Publication Date (W3CDTF)
- 1994
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- In situ monitoring INSITUMONITORINGIn situ gravimetric monitoring INSITUGRAVIMETRICMONITORINGIn situ optical Monitoring INSITUOPTICALMONITORINGAtomic layer epitaxy ATOMICLAYEREPITAXYrecorstruction RECORSTRUCTIONGaAs GAAS