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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- タンパルス チョウオンソク ブンシセン エピタキシヤル セイチョウホウ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 青柳, 克信, 理化学研究所
- Author Heading
- 青柳, 克信 アオヤギ, ヨシノブ ( 01115020 )Authorities
- Publication Date
- 1994-1995
- Publication Date (W3CDTF)
- 1994
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 短パルス超音速ノズルビームエピタキシヤル法 タンパルスチヨウオンソクノズルビームエピタキシヤルホウ素過程 ソカテイ成長制御性 セイチヨウセイギヨセイ超音速分子ビーム チヨウオンソクブンシビームエピタキシヤル成長法 エピタキシヤルセイチヨウホウ半導体薄膜の結晶成長 ハンドウタイハクマクノケツシヨウセイチヨウ短パルス状 タンパルスジヨウ精密な成長制御性 セイミツナセイチヨウセイギヨセイ