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超高真空STM In-Situ観察による半導体清浄表面のイオン,ラジカル効果

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超高真空STM In-Situ観察による半導体清浄表面のイオン,ラジカル効果

Call No. (NDL)
Y151-H06452122
Bibliographic ID of National Diet Library
000006996031
Material type
図書
Author
村山, 洋一, 東洋大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウコウシンクウ STM In-Situ カンサツ ニ ヨル ハンドウタイ セイジョウ ヒョウメン ノ イオン,ラジカル コウカ
Author/Editor
村山, 洋一, 東洋大学
Author Heading
村山, 洋一 ムラヤマ, ヨウイチ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
STM STM
イオンプレーテイング イオンプレーテイング
イオン イオン
ラジカル ラジカル