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図書

水素終端したシリコン面の熱酸化による超平坦シリコン酸化膜/シリコン界面の実現

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水素終端したシリコン面の熱酸化による超平坦シリコン酸化膜/シリコン界面の実現

Call No. (NDL)
Y151-H06452123
Bibliographic ID of National Diet Library
000006996032
Material type
図書
Author
服部, 健雄, 武蔵工業大学
Publisher
-
Publication date
1994-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スイソ シュウ タン シタ シリコンメン ノ ネツ サンカ ニ ヨル チョウヘイタン シリコン サンカマク/シリコン カイメン ノ ジツゲン
Author/Editor
服部, 健雄, 武蔵工業大学
Author Heading
服部, 健雄 ハットリ, タケオ
Publication Date
1994-1996
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
水素終端 スイソシユウタン
シリコン シリコン
自然酸化膜 シゼンサンカマク
プレオキサイド プレオキサイド
界面構造 カイメンコウゾウ
初期酸化 シヨキサンカ
酸化反応 サンカハンノウ
原子スケール ゲンシスケール