シリコン単結晶および酸化膜のマイクロトライボロジー特性

• Material Type: 図書
• Title: シリコン単結晶および酸化膜のマイクロトライボロジー特性
• Title Transcription: シリコンタンケッショウ オヨビ サンカマク ノ マイクロトライボロジー トクセイ
• Author/Editor: 加藤, 孝久, 東京大学
• Author Heading: 加藤, 孝久 カトウ, タカヒサ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ; マイクロトライボロジー マイクロトライボロジー; 超微小硬さ チヨウビシヨウカタサ; 高温動的微小硬さ コウオンドウテキビシヨウカタサ; 酸化膜 サンカマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452165
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06452165
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006996069; http://id.ndl.go.jp/bib/000006996069
• Bibliographic Record Category (NDL): 214