希ガスクラスタによる真空紫外レーザー

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Material Type: 図書
Title: 希ガスクラスタによる真空紫外レーザー
Title Transcription: キガスクラスタニヨルシンクウシガイレーザー
Author/Editor: 佐々木, 亘, 宮崎大学
Author Heading: 佐々木, 亘ササキ, ワタル
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 真空紫外光シンクウシガイコウ
希ガスエキシマキガスエキシマ
希ガスクラスタキガスクラスタ
放電励起ホウデンレイキ
リソグラフイ光源リソグラフイコウゲン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452205
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06452205
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006996105
http://id.ndl.go.jp/bib/000006996105
Bibliographic Record Category (NDL): 214