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高真空プロセス用の高密度プラズマパルスの発生とそれを用いた表面過程の解明

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高真空プロセス用の高密度プラズマパルスの発生とそれを用いた表面過程の解明

Call No. (NDL)
Y151-H06452225
Bibliographic ID of National Diet Library
000006996122
Material type
図書
Author
尾笹, 一成, 理化学研究所
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウシンクウ プロセスヨウ ノ コウミツド プラズマパルス ノ ハッセイ ト ソレ オ モチイタ ヒョウメン カテイ ノ カイメイ
Author/Editor
尾笹, 一成, 理化学研究所
Author Heading
尾笹, 一成 オザサ, カズナリ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
プラズマ プラズマ
ガスパルスプラズマ ガスパルスプラズマ
プラズマパルス プラズマパルス
水素プラズマ スイソプラズマ
ヘリウムプラズマ ヘリウムプラズマ
イオン電流 イオンデンリユウ
発光特性 ハツコウトクセイ
電子温度 デンシオンド