金属シリサイドコンタクトを用いた非晶質シリコン薄膜トランジスタの作製

• Material Type: 図書
• Title: 金属シリサイドコンタクトを用いた非晶質シリコン薄膜トランジスタの作製
• Title Transcription: キンゾク シリサイドコンタクト オ モチイタ ヒショウシツ シリコン ハクマク トランジスタ ノ サクセイ
• Author/Editor: 上野, 智雄, 東京農工大学
• Author Heading: 上野, 智雄 ウエノ, トモオ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: 薄膜トランジスタ ハクマクトランジスタ; シリサイド シリサイド; 高エネルギーフオトン コウエネルギーフオトン; 原子状水素 ゲンシジヨウスイソ; 原子状酸素 ゲンシジヨウサンソ; 結晶性絶縁物 ケツシヨウセイゼツエンブツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452227
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06452227
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006996123; http://id.ndl.go.jp/bib/000006996123
• Bibliographic Record Category (NDL): 214