微細形状を有する基板に接したプラズマのミクロ構造の解析

• Material Type: 図書
• Title: 微細形状を有する基板に接したプラズマのミクロ構造の解析
• Title Transcription: ビサイ ケイジョウ オ ユウスル キバン ニ セッシタ プラズマ ノ ミクロ コウゾウ ノ カイセキ
• Author/Editor: 橘, 邦英, 京都大学
• Author Heading: 橘, 邦英 タチバナ, クニヒデ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: プラズマプロセス プラズマプロセス; CVD CVD; エツチング エツチング; ラジカル計測 ラジカルケイソク; 表面計測 ヒヨウメンケイソク; 表面反応 ヒヨウメンハンノウ; 加工形状 カコウケイジヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06452422
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06452422
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006996301; http://id.ndl.go.jp/bib/000006996301
• Bibliographic Record Category (NDL): 214