半導体製造特殊材料の基礎的毒性

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Material Type: 図書
Title: 半導体製造特殊材料の基礎的毒性
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウトクシュザイリョウノキソテキドクセイ
Author/Editor: 桜井, 治彦, 慶応義塾大学
Author Heading: 桜井, 治彦サクライ, ハルヒコ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 半導体ハンドウタイ
ジボランジボラン
インジウムリンインジウムリン
生殖毒性セイシヨクドクセイ
呼吸器毒性コキユウキドクセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06454231
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06454231
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006996750
http://id.ndl.go.jp/bib/000006996750
Bibliographic Record Category (NDL): 214