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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- シリコンゲルマニウム リョウシ イド コウゾウ オ モチイタ セキガイ ハッコウ ソシ ノ カイハツ
- Author/Editor
- 安田幸夫, 名古屋大学
- Author Heading
- 著者 : 安田, 幸夫, 1940- ヤスダ, ユキオ, 1940- ( 00950833 )Authorities
- Publication Date
- 1995-1996
- Publication Date (W3CDTF)
- 19951996
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究(B)
- Subject Heading
- SiGe膜成長 SIGEマクセイチヨウ不純物ドーピング技術 フジユンブツドーピングギジユツバンドスプリツト バンドスプリツト無歪基板形成技術 ムヒズミキバンケイセイギジユツ二段階成長法 2ダンカイセイチヨウホウ