弾性異方性薄膜の弾性定数評価法の確立

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Material Type: 図書
Title: 弾性異方性薄膜の弾性定数評価法の確立
Title Transcription: ダンセイイカタセイハクマクノダンセイテイスウヒョウカホウノカクリツ
Author/Editor: 大南, 正瑛, 立命館大学
Author Heading: 大南, 正瑛オオナミ, マサテル
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: ヤング率ヤングリツ
3点曲げ試験法 3テンマゲシケンホウ
振動リード法シンドウリードホウ
薄膜ハクマク
電子デバイスデンシデバイス
スパツタリングCr薄膜スパツタリングCRハクマク
スパツタリングパーマロイ薄膜スパツタリングパーマロイハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555031
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555031
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997295
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997295
Bibliographic Record Category (NDL): 214