高集積空気圧バルブICチツプの試作研究

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Material Type: 図書
Title: 高集積空気圧バルブICチツプの試作研究
Title Transcription: コウシュウセキクウキアツバルブ IC チツプノシサクケンキュウ
Author/Editor: 栗林, 勝利, 山口大学
Author Heading: 栗林, 勝利クリバヤシ, カツトシ
Publication Date: 1994-1996
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: マイクロバルブマイクロバルブ
チタンニツケル合金チタンニツケルゴウキン
シリコン基板シリコンキバン
形状記憶合金ケイジヨウキオクゴウキン
マイクロマシンマイクロマシン
薄膜ハクマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555072
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555072
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997334
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997334
Bibliographic Record Category (NDL): 214