窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製

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Material Type: 図書
Title: 窒化タンタル陽極酸化膜による耐熱性に優れた薄膜コンデンサの作製
Title Transcription: チッカタンタルヨウキョクサンカマクニヨルタイネツセイニスグレタハクマクコンデンサノサクセイ
Author/Editor: 佐々木, 克孝, 北見工業大学
Author Heading: 佐々木, 克孝サトウ, カツタカ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: Ta2N化合物膜 TA2Nカゴウブツマク
陽極酸化膜ヨウキヨクサンカマク
薄膜キヤパシタハクマクキヤパシタ
tanδ TANデルタ
耐熱性タイネツセイ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06555087
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06555087
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006997347
http://id.ndl.go.jp/bib/000006997347
Bibliographic Record Category (NDL): 214