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二重SOI構造による高温度用加速度センサ

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二重SOI構造による高温度用加速度センサ

Call No. (NDL)
Y151-H06555102
Bibliographic ID of National Diet Library
000006997361
Material type
図書
Author
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ニジュウ SOI コウゾウ ニ ヨル コウオンドヨウ カソクド センサ
Author/Editor
石田, 誠, 豊橋技術科学大学
Author Heading
石田, 誠, 1950- イシダ, マコト, 1950- ( 01223195 )Authorities
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
加速度センサ カソクドセンサ
高温度用 コウオンドヨウ
SOI構造 SOIコウゾウ
Al2O3膜 AL2O3マク
有限要素法 ユウゲンヨウソホウ
マイクロマシニング マイクロマシニング
二重SOI構造 ニジユウSOIコウゾウ