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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ナノ コウゾウ ノ セイギョ サレタ コウユウデンタイ ハクマク ノ CVD プロセス
- Author/Editor
- 小宮山, 宏, 東京大学
- Author Heading
- 小宮山, 宏, 1944- コミヤマ, ヒロシ, 1944- ( 00215918 )Authorities
- Publication Date
- 1994-1995
- Publication Date (W3CDTF)
- 1994
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究(B)