大直径ウエハエツチング用円環スロツトアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発

• Material Type: 図書
• Title: 大直径ウエハエツチング用円環スロツトアンテナ形マイクロ波プラズマの発生法の開発
• Title Transcription: ダイ チョッケイ ウエハエツチングヨウエンカン スロツトアンテナケイ マイクロハ プラズマ ノ ハッセイホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 藤田, 寛治, 佐賀大学
• Author Heading: 藤田, 寛治 フジタ, ヒロハル
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 大面積プラズマ ダイメンセキプラズマ; 高密度プラズマ コウミツドプラズマ; 均一密度プラズマ キンイツミツドプラズマ; 円環スロツトアンテナ エンカンスロツトアンテナ; リング状永久磁石 リングジヨウエイキユウジシヤク; 負イオン フイオン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06558065
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06558065
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006997815; http://id.ndl.go.jp/bib/000006997815
• Bibliographic Record Category (NDL): 214