光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製

• Material Type: 図書
• Title: 光・プラズマアシスト気相成長法による立方晶窒化ホウ素薄膜の作製
• Title Transcription: ヒカリ ・ プラズマアシスト キソウ セイチョウホウ ニ ヨル リッポウショウ チッカ ホウソ ハクマク ノ サクセイ
• Author/Editor: 杉野, 隆, 大阪大学
• Author Heading: 杉野, 隆 スギノ, タカシ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 窒化ホウ素 チツカホウソ; プラズマアシスト気相成長法 プラズマアシストキソウセイチヨウホウ; 三塩化ホウ素 3エンカホウソ; 窒素リモートプラズマ チツソリモートプラズマ; 透過電子線回折 トウカデンシセンカイセツ; 赤外吸収スペクトル セキガイキユウシユウスペクトル; 電気抵抗率 デンキテイコウリツ; 禁止帯幅 キンシタイハバ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650021
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650021
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006998727; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998727
• Bibliographic Record Category (NDL): 214