ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用

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Material Type: 図書
Title: ダイヤモンド薄膜の低温合成とその応用
Title Transcription: ダイヤモンドハクマクノテイオンゴウセイトソノオウヨウ
Author/Editor: 六倉, 信喜, 東京電機大学
Author Heading: 六倉, 信喜ムツクラ, ノブキ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: ダイヤモンド薄膜ダイヤモンドハクマク
プラズマCVD プラズマCVD
高周波プラズマコウシユウハプラズマ
硬質炭素膜コウシツタンソマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650028
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06650028
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006998732
http://id.ndl.go.jp/bib/000006998732
Bibliographic Record Category (NDL): 214