表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測

• Material Type: 図書
• Title: 表面光起電力効果を利用したSi表面加工変質層の高感度計測
• Title Transcription: ヒョウメン ヒカリキデンリョク コウカ オ リヨウ シタ Si ヒョウメン カコウ ヘンシツソウ ノ コウカンド ケイソク
• Author/Editor: 山内, 和人, 大阪大学
• Author Heading: 山内, 和人 ヤマウチ, カズト
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 表面光起電力 ヒヨウメンヒカリキデンリヨク; シリコン シリコン; 表面電子準位 ヒヨウメンデンシジユンイ; 微弱表面電位計測システム ビジヤクヒヨウメンデンイケイソクシステム; EEM EEM; 超精密加工面 チヨウセイミツカコウメン; 非接触 ヒセツシヨク; 加工変質層 カコウヘンシツソウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650143
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650143
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006998793; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998793
• Bibliographic Record Category (NDL): 214