有機シリコン材料からの高品質ワイドギヤツプ半導体薄膜の作製

• Material Type: 図書
• Title: 有機シリコン材料からの高品質ワイドギヤツプ半導体薄膜の作製
• Title Transcription: ユウキ シリコン ザイリョウ カラ ノ コウヒンシツ ワイドギヤツプ ハンドウタイ ハクマク ノ サクセイ
• Author/Editor: 畑中, 義式, 静岡大学
• Author Heading: 畑中, 義式 ハタナカ, ヨシノリ
• Publication Date: 1994-1995
• Publication Date (W3CDTF): 1994
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 有機シリコン ユウキシリコン; リモートプラズマ リモートプラズマ; シリコンカーバイド薄膜 シリコンカーバイドハクマク; ヘキサメチルジシラン ヘキサメチルジシラン; SiO2薄膜 SIO2ハクマク; 水素ラジカル反応 スイソラジカルハンノウ; プラズマCVD プラズマCVD; TEOS TEOS
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650363
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H06650363
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006998917; http://id.ndl.go.jp/bib/000006998917
• Bibliographic Record Category (NDL): 214