LSI用高寿命AL薄膜合金の研究

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Material Type: 図書
Title: LSI用高寿命AL薄膜合金の研究
Title Transcription: LSI ヨウコウジュミョウ AL ハクマクゴウキンノケンキュウ
Author/Editor: 秋谷, 昌宏, 武蔵工業大学
Author Heading: 秋谷, 昌宏アキヤ, マサヒロ ( 01083503 )Authorities
Publication Date: 1994-1996
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: Mg含有Al-Si膜 MGガンユウAL-SIマク
エレクトマイグレーシヨンエレクトマイグレーシヨン
ボイドボイド
活性化エネルギーカツセイカエネルギー
LB膜 LBマク
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650372
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06650372
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006998923
http://id.ndl.go.jp/bib/000006998923
Bibliographic Record Category (NDL): 214