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二次イオン質量分析法による高温酸化皮膜中の水素分析に関する研究

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二次イオン質量分析法による高温酸化皮膜中の水素分析に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H06650770
Bibliographic ID of National Diet Library
000006999182
Material type
図書
Author
成島, 尚之, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1994-1995
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ニジ イオン シツリョウ ブンセキホウ ニ ヨル コウオン サンカ ヒマク チュウ ノ スイソ ブンセキ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
成島, 尚之, 東北大学
Author Heading
成島, 尚之 ナルシマ, タカユキ
Publication Date
1994-1995
Publication Date (W3CDTF)
1994
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
二次イオン質量分析法 ニジイオンシツリヨウブンセキホウ
炭化ケイ素 タンカケイソ
窒化ケイ素 チツカケイソ
高温酸化 コウオンサンカ
クリストバライト クリストバライト
トリジマイト トリジマイト
シリカ シリカ
水蒸気 スイジヨウキ