ECR高密度プラズマによる窒化とセラミツク膜を複合させた表面高機能化処理

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Material Type: 図書
Title: ECR高密度プラズマによる窒化とセラミツク膜を複合させた表面高機能化処理
Title Transcription: ECR コウミツドプラズマニヨルチッカトセラミツクマクオフクゴウサセタヒョウメンタカバタノウゲショリ
Author/Editor: 安丸, 尚樹, 福井工業高等専門学校
Author Heading: 安丸, 尚樹ヤスマル, ナオキ
Publication Date: 1994-1995
Publication Date (W3CDTF): 1994
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: プラズマ処理プラズマシヨリ
窒化チツカ
セラミツクコーテイングセラミツクコーテイング
表面処理ヒヨウメンシヨリ
複合処理フクゴウシヨリ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 06650823
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H06650823
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006999220
http://id.ndl.go.jp/bib/000006999220
Bibliographic Record Category (NDL): 214