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図書

シリコン系人工結晶の作製とその物性評価に関する研究

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シリコン系人工結晶の作製とその物性評価に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H07405001
Bibliographic ID of National Diet Library
000007002444
Material type
図書
Author
松村, 正清, 東京工業大学
Publisher
-
Publication date
1995-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シリコンケイ ジンコウ ケッショウ ノ サクセイ ト ソノ ブッセイ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
松村, 正清, 東京工業大学
Author Heading
松村, 正清 ムラマツ, マサキヨ
Publication Date
1995-1997
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(A)
Subject Heading
原子層エピタキシー ゲンシソウエピタキシー
Si/Ge人工結晶 SI/GEジンコウケツシヨウ
ヘテロ接合 ヘテロセツゴウ
AES AES
シリコン シリコン
ゲルマニウム ゲルマニウム