大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明

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Material Type: 図書
Title: 大気圧プラズマを利用したラジカル加工におけるラジカル生成機構の解明
Title Transcription: タイキアツプラズマオリヨウシタラジカルカコウニオケルラジカルセイセイキコウノカイメイ
Author/Editor: 森, 勇藏, 大阪大学
Author Heading: 森, 勇藏モリ, ユウゾウ
Publication Date: 1995-1996
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: 高圧力プラズマコウアツリヨクプラズマ
ラジカル加工ラジカルカコウ
パルス変調パルスヘンチヨウ
プラズマの局在化プラズマノキヨクザイカ
六フツ化硫黄ロクフツカイオウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07455063
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07455063
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007003042
http://id.ndl.go.jp/bib/000007003042
Bibliographic Record Category (NDL): 214