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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- デンシ センガキガ カコウ ニ オケル シアガリ ケイジョウ ・ セイド ノ カイセキ
- Author/Editor
- 古川, 勇二, 東京都立大学
- Author Heading
- 古川, 勇二 フルカワ, ユウジ
- Publication Date
- 1995-1996
- Publication Date (W3CDTF)
- 1995
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)
- Subject Heading
- 電子線描画加工 デンシセンビヨウガカコウマイクロマシーニング マイクロマシーニング