図書

電子線描画加工における仕上がり形状・精度の解析

Icons representing 図書

電子線描画加工における仕上がり形状・精度の解析

Call No. (NDL)
Y151-H07455067
Bibliographic ID of National Diet Library
000007003046
Material type
図書
Author
古川, 勇二, 東京都立大学
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
デンシ センガキガ カコウ ニ オケル シアガリ ケイジョウ ・ セイド ノ カイセキ
Author/Editor
古川, 勇二, 東京都立大学
Author Heading
古川, 勇二 フルカワ, ユウジ
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
電子線描画加工 デンシセンビヨウガカコウ
マイクロマシーニング マイクロマシーニング