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シリコン融体表面における固体シリカの局部溶損機構の解明

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シリコン融体表面における固体シリカの局部溶損機構の解明

Call No. (NDL)
Y151-H07455302
Bibliographic ID of National Diet Library
000007003262
Material type
図書
Author
向井, 楠宏, 九州工業大学
Publisher
-
Publication date
1995-1997
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
シリコンユウタイヒョウメン ニ オケル コタイ シリカ ノ キョクブ ヨウ ソン キコウ ノ カイメイ
Author/Editor
向井, 楠宏, 九州工業大学
Author Heading
著者 : 向井, 楠宏, 1940- ムカイ, クスヒロ, 1940- ( 00219107 )Authorities
Publication Date
1995-1997
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 基盤研究(B)
Subject Heading
シリコン単結晶 シリコンタンケツシヨウ
チヨクラルスキー法 チヨクラルスキーホウ
シリカるつぼ シリカルツボ
シリコン融体表面 シリコンユウタイヒヨウメン
局部溶損 キヨクブヨウソン
マランゴニ対流 マランゴニタイリユウ