エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発

• Material Type: 図書
• Title: エキシマレーザーによる光化学反応を利用した低温凝集相からの成膜法の開発
• Title Transcription: エキシマレーザー ニ ヨル ヒカリカガク ハンノウ オ リヨウ シタ テイオン ギョウシュウソウ カラ ノ セイマクホウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 遠藤, 勝義, 大阪大学
• Author Heading: 遠藤, 勝義 エンドウ, カツヨシ
• Publication Date: 1995-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 光化学反応 コウカガクハンノウ; 低温凝集相 テイオンギヨウシユウソウ; 2光子吸収 2コウシキユウシユウ; 1光子吸収 1コウシキユウシユウ; エキシマレーザー エキシマレーザー; Si系薄膜 SIケイハクマク; C系薄膜 Cケイハクマク
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555041
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07555041
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007004586; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004586
• Bibliographic Record Category (NDL): 214