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自動計測システムを備えたセラミツクス球の超精密ラツピングシステムの開発

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自動計測システムを備えたセラミツクス球の超精密ラツピングシステムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H07555045
Bibliographic ID of National Diet Library
000007004590
Material type
図書
Author
赤澤, 真, 宮城工業高等専門学校
Publisher
-
Publication date
1995-1996
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ジドウ ケイソク システム オ ソナエタ セラミツクスキュウ ノ チョウセイミツ ラツピング システム ノ カイハツ
Author/Editor
赤澤, 真, 宮城工業高等専門学校
Author Heading
赤澤, 真 アカザワ, マコト
Publication Date
1995-1996
Publication Date (W3CDTF)
1995
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
セラミツクス セラミツクス
ラツピング ラツピング
ダマ
真球度 シンキユウド
精度 セイド
表面粗さ ヒヨウメンアラサ
自動計測 ジドウケイソク
高速フーリエ変換 (FFT) コウソクフーリエヘンカン (FFT)