レーザアブレーシヨンによる立方晶窒化ボロン(cBN)薄膜作製プロセスの開発

• Material Type: 図書
• Title: レーザアブレーシヨンによる立方晶窒化ボロン(cBN)薄膜作製プロセスの開発
• Title Transcription: レーザアブレーシヨン ニ ヨル リッポウショウ チッカ ボロン(cBN)ハクマク サクセイ プロセス ノ カイハツ
• Author/Editor: 須田, 義昭, 佐世保工業高等専門学校
• Author Heading: 須田, 義昭 スダ, ヨシアキ
• Publication Date: 1995-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 基盤研究(B)
• Subject Heading: 立方晶窒化ボロン リツポウシヨウチツカボロン; パルスレーザアブレーシヨン パルスレーザアブレーシヨン; 六方晶窒化ボロン 6ポウシヨウチツカボロン; FT-IR FT-IR; Nd: YAG Laser ND: YAGLASER; RFバイアス RFバイアス; KrFエキシマレーザ KRFエキシマレーザ; 発光スペクトル ハツコウスペクトル
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555104
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07555104
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007004645; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004645
• Bibliographic Record Category (NDL): 214