マイクロマシーニングによる高性能化・光電子集積機能デバイスの試作研究

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Material Type: 図書
Title: マイクロマシーニングによる高性能化・光電子集積機能デバイスの試作研究
Title Transcription: マイクロマシーニングニヨルコウセイノウカ・コウデンシシュウセキキノウデバイスノシサクケンキュウ
Author/Editor: 野田, 進, 京都大学
Author Heading: 著者：野田, 進ノダ, ススム ( 01228849 )Authorities
Publication Date: 1995-1997
Publication Date (W3CDTF): 1995
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究(B)
Subject Heading: 集積デバイスシユウセキデバイス
光フリツプフロツプヒカリフリツプフロツプ
円形回折格子エンケイカイセツコウシ
ウエハ融着ウエハユウチヤク
質量輸送シツリヨウユソウ
面発光メンハツコウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555111
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H07555111
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000007004652
http://id.ndl.go.jp/bib/000007004652
Bibliographic Record Category (NDL): 214