マイクロマシーニングによる高性能化・光電子集積機能デバイスの試作研究

• Material Type: 図書
• Title: マイクロマシーニングによる高性能化・光電子集積機能デバイスの試作研究
• Title Transcription: マイクロマシーニング ニ ヨル コウセイノウカ ・ コウデンシ シュウセキ キノウ デバイス ノ シサク ケンキュウ
• Author/Editor: 野田, 進, 京都大学
• Author Heading: 野田, 進 ノダ, ススム
• Publication Date: 1995-1997
• Publication Date (W3CDTF): 1995
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 集積デバイス シユウセキデバイス; 光フリツプフロツプ ヒカリフリツプフロツプ; 円形回折格子 エンケイカイセツコウシ; ウエハ融着 ウエハユウチヤク; 質量輸送 シツリヨウユソウ; 面発光 メンハツコウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 07555111
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H07555111
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000007004652; http://id.ndl.go.jp/bib/000007004652
• Bibliographic Record Category (NDL): 214